衍射儀附件
衍射儀薄膜測量裝置
衍射儀薄膜測量附件由多層膜反射鏡和三維薄膜樣品架組成，實(shí)現(xiàn)對大于20nm薄膜樣品測量?？蓪?shí)現(xiàn)對薄膜樣品進(jìn)行薄膜反射分析XRR(針對多晶、單晶多層薄膜厚度、密度、粗糙度進(jìn)行精確分析）、薄膜掠入射分析GIXRD(精確分析多層膜中材料的組成、次序、取向等)。
三維薄膜樣品架
四維薄膜樣品架與測角儀安裝設(shè)有定位裝置，激光測距定位衍射面，安裝、拆卸方便，即插即用，無需調(diào)整光路。最大可測量樣品尺寸：φ70×10mm（或按用戶要求設(shè)計(jì)可以測量樣品尺寸）、樣品升降精度（Z）軸：1μm。
| 范 圍 | 參 數(shù) | |
| PSI角 | 轉(zhuǎn)動范圍0-70° | 轉(zhuǎn)動精度0.1° |
| CHI角 | 轉(zhuǎn)動范圍±5° | 轉(zhuǎn)動精度0.05° |
| Z軸 | 距離0～15mm | 精度0.001mm |
平行光源由多層膜反射鏡（G?bel Mirror）和腔體及腔體調(diào)整機(jī)構(gòu)組成，安裝機(jī)構(gòu)與衍射儀前索拉狹縫體實(shí)行互換，平行光源在出廠前已經(jīng)調(diào)整好了，操作人員不需要調(diào)整。
G?bel Mirror鏡平行光發(fā)散度小于0.028°，反射效率大于70%
薄膜樣品XRR衍射譜圖
搖擺測量衍射譜圖
薄膜掠入射分析GIXRD測量
